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设备简介：微观纳米半导体大行程自动影像检测机，可实现各种复杂，精密零件的轮廓，表面尺寸，半导体外观瑕疵等精准检测，是对检测效率十分挑剔的客户的最佳选择，可实现全自动编程，基于CAD数模的测量及各种SPC报表功能等。
设备简介：微观纳米半导体大行程自动影像检测机，可实现各种复杂，精密零件的轮廓，表面尺寸，半导体外观瑕疵等精准检测，是对检测效率十分挑剔的客户的最佳选择，可实现全自动编程，基于CAD数模的测量及各种SPC报表功能等。
移动桥式结构，高精度花岗石底座，立柱，保证机器的长期稳定性；
进口高精度开放式光栅系统,分辩率0.001mm；
可根据检测对象，随意更换搭配相机，光源及视觉成像系统，适应不同被测对象；
| 类别 | 技术规格 | |
|---|---|---|
| 设备名称 | 微观纳米半导体自动影像测量机 | |
| 设备种类 | 微观检测 | |
| 量测行程 | 400*400*200mm | |
| 运动速度 | X,Y:400mm/s Z:200mm/s | |
| 平台类型 | 大理石 | |
| 检测指标 | 根据产品类型判断 | |
| 相机分辨率 | 根据需求定制 | |
| 检测精度 | 0.001mm | |
| 检测种类 | ACF导电粒子，产品尺寸轮廓，手机镜头，半导体等微观检测 | |
★ 主要应用于微观检测项目，精度较高，可对应半导体外观瑕疵，ACF导电粒子，精密零件的轮廓，表面尺寸，手机镜头，半导体等微观检测，检查产品的缺陷一般有划伤，破损，尺寸，粒子微弱等。
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