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微观纳米半导体自动检测

设备简介:微观纳米半导体大行程自动影像检测机,可实现各种复杂,精密零件的轮廓,表面尺寸,半导体外观瑕疵等精准检测,是对检测效率十分挑剔的客户的最佳选择,可实现全自动编程,基于CAD数模的测量及各种SPC报表功能等。

微观纳米半导体自动检测

设备简介:微观纳米半导体大行程自动影像检测机,可实现各种复杂,精密零件的轮廓,表面尺寸,半导体外观瑕疵等精准检测,是对检测效率十分挑剔的客户的最佳选择,可实现全自动编程,基于CAD数模的测量及各种SPC报表功能等。

关键特征 设备参数 适用范围 相关产品
关键特征

   移动桥式结构,高精度花岗石底座,立柱,保证机器的长期稳定性;
   进口高精度开放式光栅系统,分辩率0.001mm;
   可根据检测对象,随意更换搭配相机,光源及视觉成像系统,适应不同被测对象;

设备参数
类别 技术规格
设备名称 微观纳米半导体自动影像测量机
设备种类 微观检测
量测行程 400*400*200mm
运动速度 X,Y:400mm/s    Z:200mm/s
平台类型 大理石
检测指标 根据产品类型判断
相机分辨率 根据需求定制
检测精度 0.001mm
检测种类 ACF导电粒子,产品尺寸轮廓,手机镜头,半导体等微观检测
适用范围

 主要应用于微观检测项目,精度较高,可对应半导体外观瑕疵,ACF导电粒子,精密零件的轮廓,表面尺寸,手机镜头,半导体等微观检测,检查产品的缺陷一般有划伤,破损,尺寸,粒子微弱等。

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